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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。
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广州潽拓专业维修分子泵，爱德华Edwards Ext 75dx iso100复合泵维修保养
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
并口，用于传统控制信号接口。
串口，用于RS-232接口。
通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。
正常泵速显示。
准备转速显示。
泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
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二手爱德华Edwards ELD 500检漏仪维修-爱德华分子泵价格
Edwards爱德华ELD500氦质谱检漏仪， ELD500氦质谱检漏仪可在各种应用中实现快速准确的泄漏检 测，能够完全移动且具有简单的控制界面。Edwards ELD500 检漏仪不仅能耗低，还具有延长的保修期和使用寿命长的离子源，在保证的同时为您提供超低使用成本。
ELD500有三种版本可供选择：FLEX、WET和DRY。所有版本都 配备坚固耐用的涡轮分子泵，可用于严苛的便携式检漏，是所有应用场合的理想选择。
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