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涡轮分子泵的特点很多,但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展,涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率,其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研,同时也需要各界的共同努力,对涡轮分子泵特点的进一步研究,相信在未来是个值得突破的课题。
典型的涡轮分子泵抽气系统 ,抽气系统设置分开的粗抽管道和前级管道,这种系统和常用的扩散泵抽气系统类似,其粗抽管道和前级管道的基本配置与扩散泵不同。扩散泵的正常运转要求前级泵具有足够大的抽速,以便在很大排气量时前级压力能低于临界前级压力,在涡轮分子泵抽气系统中,要选择具有足够容量的前级泵,使很靠近前级管道的叶片在很大排气量时处于分子流或者正好处于过渡流。
大多数涡轮分子泵的很大稳态进气口压力P1在0.5~1Pa之间,而很大前级压力P2约为30Pa。因为排气量为一常数,即P1S1=P2S2, (1)式(1)表明,涡轮分子泵抽速和前级泵抽速之S1/S2比应该在30到60的范围内,对于很大的对氢压缩比小于500的泵来说,其级配比应该为20:1。1-涡轮分子泵;2-液氮冷阱;3-放气阀;4-电离规;5-热传导规;6-粗抽阀;7-机械泵;8-前级管路阀;9-高真空阀。
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设置为1mT,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mT。当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为7mT时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。
另外,使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mT时,低大约40度)。2020年12月10日,真空推出全新350和450涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
350和450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承,系列涡轮分子泵的轴承非常坚固,确保了很佳的可靠性。创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点:对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向,该系列泵具有的和灵活性。
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近日,真空推出了一款新型涡轮分子泵,便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长,而且采用了该公司开发的一项技术,使得真空设备更加耐用,振动水平更低,噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲,通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法,利用激光烧蚀把多余的材料去除,如此一来,转子的不均匀质量分布能够在所有点位逐个进行的处理,来达到很佳的动平衡性。
与传统动平衡相比,用激光去除材料要准确得多,剩余不平衡会更低。而且在这个过程中,材料特性并不会受到影响。可以说,改变了传统的动平衡过程,将不均匀的质量分布降到了很低。采用传统动平衡(左)和采用激光烧蚀段的激光动平衡(右)动平衡等级对比.据了解,通过现代化的自动平衡系统,涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%,从而大幅提高转子寿命,并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。
值得一提的是,激光烧蚀产生的颗粒,在加工过程中即可抽出和过滤掉,随后对激光平衡后的转子进行清洁,由于无需手动拧紧螺丝,所以确保了表面的很高清洁度,并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。因此,用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要更低振动和静音的应用中,该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。
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