广州潽拓光电科技有限公司——TV551Agilent分子泵维修升级

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。

广州潽拓光电科技有限公司——TV551Agilent分子泵维修升级

体安装注意事项

　　①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。

　　②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。

　　③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

　　④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。

　　⑤、确认已装入润滑油。

　　⑥、安装方向：油绳润滑：竖直、水平；

　　 油润滑：竖直方向±5°范围内；

　　 脂润滑：任意角度

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——TV551Agilent分子泵维修升级

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到好的性能曲面上（3D），达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

广州潽拓光电科技有限公司——TV551Agilent分子泵维修升级

安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

据悉，CombiNEG系列可复合2000L/s的吸气剂泵，其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气，可靠性高，所需电流小，对环境磁场的影响也很小，并且无油无振动，非常适合粒子、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计，使其结构很紧凑，安装使用也更简单。在结构上，CombiNEG系列采用安捷伦科技（AgilentTechnologies）StarCell离子泵抽气单元和赛斯集团 （SaesGroups）的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。

广州潽拓光电科技有限公司——TV551Agilent分子泵维修升级

从上世纪60年代上市以来，安捷伦（即原瓦里安，下同）扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时，会用安捷伦的型号，也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦，要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。

广州潽拓光电科技有限公司——TV551Agilent分子泵维修升级

安捷伦分子泵的特点

　　油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

　　脂润滑分子泵：油脂量小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

　　全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

真空泵常规性能参数测试抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时，安捷伦对外发布的各项参数和曲线。