广州潽拓光电科技有限公司——TV550Agilent分子泵硬件升级

TwisTorr 305 Q 系列分子泵。

该系列包含 305 FSQ、305-ICQ ，以及两个带有中间抽气口的型号 305 SF 和305-IC SF。305 FSQ 和 305 SF 通过独立的控制器供电和控制，而 305-ICQ 和 305-IC SF 具有集成于泵身的控制器，只需要为其提供 24V 电源即可工作。

450 sccm 的氮气流量

305 FSQ 和 305 SF可以处理 450 sccm 的氮气流量，和 500 sccm 的氢气/氦气流量，在同等抽速和功率的产品中，是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的 305-ICQ 和 305-IC SF 也可以处理 380 sccm 的氮气流量，和 500 sccm 的氢气/氦气流量，可以应对绝大多数的仪器应用。

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真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。在我国，真空泵是一个量大面广的产品，但是虽然它的产量很大，但是产值却不高。虽然真空泵是一个直接影响到真空成套设备性能质量的基础产品，不过在真空泵产品的领域.，国产品牌真空泵并不多，大量的市场份额被进口企业所把持。真空泵的市场发展速度可以用日新月异来形容，几乎每时每刻都在根据用户需求的变动而动态变化着。真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展、真空泵技术不断革新以及真空泵应用领域的日益扩大。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

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分子泵：安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的可靠性非常接近100%，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40dB(A)。

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当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。