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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵机组耗电：

2.38kW×6720h=年耗电15993.60度×1元/度

=15993.60元原来的耗电：

8.8kW×6720h=年耗电59136度×1元/度

=59136元通过上述计算，几乎当年就能从电费一项收回投资费用：

59136-15993.60=43142.40元

第二年使用分子泵机组电费节约赢利43142.40元。

该分子泵近乎免维护，所以如果考虑维护费用，经济效益更可观。该分子泵替换运用的成功，为节能减排贡献巨大力量，做到了制造应用与双赢，并且拓展了分子泵的应用领域。其他好处除了节省成本以外，通过对分子泵替换的圆排车所制造的节能灯进行测试，灯具在产品寿命和质量上也得到明显提高，通过质谱分析，系统的油污染得到降低，光谱等分析都显示，应用分子泵排气制造的灯具性能有很大的改善。

与此同时，根据在其他多家特种灯（金卤灯、航标灯等）、车灯、半导体照明灯客户的实际应用反馈，分子泵对降低生产能耗、提高产品性能和使用寿命等方面都起到明显的促进作用。在部分国内外爱发科的照明生产企业中的应用，分子泵都得到好评和大量替换配套。结  语通过这个案例可以看出，将高压强分子泵机组直接用到圆排机上，实现了降耗节能、保证质量的目标，完全可以替代。

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近日，真空推出了一款新型涡轮分子泵，便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长，而且采用了该公司开发的一项技术，使得真空设备更加耐用，振动水平更低，噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲，通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法，利用激光烧蚀把多余的材料去除，如此一来，转子的不均匀质量分布能够在所有点位逐个进行的处理，来达到很佳的动平衡性。

与传统动平衡相比，用激光去除材料要准确得多，剩余不平衡会更低。而且在这个过程中，材料特性并不会受到影响。可以说，改变了传统的动平衡过程，将不均匀的质量分布降到了很低。采用传统动平衡（左）和采用激光烧蚀段的激光动平衡（右）动平衡等级对比.据了解，通过现代化的自动平衡系统，涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%，从而大幅提高转子寿命，并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。

值得一提的是，激光烧蚀产生的颗粒，在加工过程中即可抽出和过滤掉，随后对激光平衡后的转子进行清洁，由于无需手动拧紧螺丝，所以确保了表面的很高清洁度，并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。因此，用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求，尤其是在需要更低振动和静音的应用中，该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。

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