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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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       涡轮分子泵有真空低能耗，气体输送能力强，循环时间短使用时间长的优点。在电子、半导体工业，包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、医院及实验室装置、物流技术、环保工程、汽车工程、木工机械等有着广泛的应用。我们承诺对国际一线品片分子泵及其驱动器维修及销售，各类PLC板，人机界面，各型号干泵油泵等维修工作。

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