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当压力降至102Pa时，热偶电势E开始增大，这是由于此时气体传导走的热量减少，热丝温度已升高。当压力p继续降低时，热偶电势继续增大，但是越来越缓慢， 很后趋于一定值。此后，p再降低，E不再变化，即热偶真空计已达到其测量极限，这个极限为其测量下限，约为10-1Pa。为了使用上的方便，通常按照p—E校准曲线将毫伏计的刻度改成真空度。用这样刻度的真空计测量时，可直接读出真空度，再也不需要根据测得的p-E校准曲线查被测真空度。

气体种类对热偶真空计的影响热偶真空计对不同气体的测量结果是不同的，这是由于不同气体分子的导热系数不同引起的。但各种气体的p-E校准曲线形状都类同，因此，在测量不同气体的压力时，可根据干燥空气(或氮气)刻度的压力读数，再乘以相应的被测气体相对灵敏度，就可得到该气体的实际压力，即通常以干燥空气(或氮气)的相对灵敏度为1，其他一些常用的气体和蒸气的相对灵敏度如表4-2所示。相对灵敏度表明了气体热传导的性质。

对于气体分子中具有相同原子数的气体或蒸气，其相对灵敏度Sr随分子量的增大而增大。表4-2一些气体与蒸气的相对灵敏度四、热偶规管加热电流的确定由于制造热偶规管所用的材料及工艺等原因，每个规管的加热电流均不相同；在使用过程中也会因规管“老化”使得加热电流变大；此外，不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空计，又叫真空规。

半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。

是什麽？能干什么？如何使用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。

2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压强大，真空计表明的标值就大；相反，真空计表明的标值小。

3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。

真空计的种类及基本原理

真空计（VacuumGauge）,又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。

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热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下，适用DL-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。

DL-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102～10Pa)由图4-10可以看出，当工作压力从0.1MPa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内，热偶电势差E一直在零值周边，其根本原因是气体分子结构多，传输走的卡路里多，因此热丝温度低，热偶电势差E亦低，并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干，故热偶电势差E不转变(小量转变是气体热对流造成的)。

当气体压力至102Pa时，热偶电势差E逐渐扩大，这也是因为这时气体传输走的发热量降低，热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时，热偶电势差再次扩大，可是愈来愈迟缓，很后趋向一定值。自此，p再减少，E不会再转变，即热偶真空计已做到其准确测量限，这一限为其准确测量低值，约为10-1Pa。为了更好地应用上的便捷，通常依照p—E校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时，可立即读取真空值，从此不用依据测定的p-E校准曲线查被测真空值。

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