广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修服务

目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的，用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。

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分子泵轴承为什么会烧毁

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

　　解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

　　原因：过热，负载大

　　解决措施：检查冷却系，检查系统

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵启动的条件：

　　①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

　　②、启动时间：

　　同时启动——小系统，防前级泵油上返。

　　延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。

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TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵具有优化的设计和先进的连接选项（如蓝牙）。这款 300 L/s 的涡轮分子泵可以通过 Vacuum Link 应用程序进行无线驱动。

TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵是学术研究/粒子的理想选择（泵和控制器之间的距离可达 100 m），其中压缩比是实现极低的极限真空的重要因素。这款泵噪音低、振动小，是高灵敏仪器、质谱、电子显微镜和表面分析应用的解决方案。

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性能指标H2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸KF 16 NW前级耐压 — N212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量7 m³/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s气体通量 — N2、水冷250 sccm极限真空<1 x 10-10 mbar标准和认证EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

机械指令 2006/42/EC

电磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法兰类型DN 100DN 160贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量5.84 kg额定转速60 KRPM

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）设计并执行了下面的测试：

测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。