广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵方案

罗茨真空泵市场

　　从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性

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分子泵叶片破碎的原因：

　　答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

　　①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

　　②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

　　③、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

　　④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

　　⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

　　⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵启动的条件：

　　①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

　　②、启动时间：

　　同时启动——小系统，防前级泵油上返。

　　延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。

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TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵具有优化的设计和先进的连接选项（如蓝牙）。这款 300 L/s 的涡轮分子泵可以通过 Vacuum Link 应用程序进行无线驱动。

TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵是学术研究/粒子的理想选择（泵和控制器之间的距离可达 100 m），其中压缩比是实现极低的极限真空的重要因素。这款泵噪音低、振动小，是高灵敏仪器、质谱、电子显微镜和表面分析应用的解决方案。

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测试过程

试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ，泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行 12 个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为 2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到 7mT 。

测试结果

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。

另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。

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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰，可提供 400 L/s 的抽速，对轻质气体可实现高压缩比，还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS)，确保低振动和低噪音，适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。