广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵
安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305,它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,同时(参见文章:安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍),还拥有诸多全新的特点(参见文章:新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪?),此外,TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品。而广州潽拓光电根据305产品特性研究,可以针对性的提供服务。
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高真空涡轮分子泵是什么?
涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在极限状态下,可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。
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产品生命周期设计方法传统的产品设计和开发过程,常被当作是研制产品的一个步骤,因为产品的设计者不可能对上市时间、质量与可靠性、生产成本、售后及易维护性等全盘掌握,使用传统过程设计的产品在投入生产时不可避免地需要进行反复修改。
产品生命周期设计方法通过提议、调查、实验室原型、生产原型、试运行和量产六个步骤来推动和设计过程,而在这些设计过程推进时,采用各种各样的测试和多个部门参与的交互式讨论和分析来决定产品设计方案和方向,而这其中的关键就是各种测试。
1000余台样泵为了验证各种不同的设计,安捷伦执行了远超行业标准的大量测试,在量产之前陆续生产了多达1000 余台样泵,对各项结构和功能参数进行测试和分析,终产品定型时,仅选用了结果的结构和方案。潽拓光电也在其中学结了产品使用会产生的问题以及特性注意事项服务特性都方便对产品维修和方案起很大作用。
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高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子,转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步,市场不仅对泵性能的要求越来越高,更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽,而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上,这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘,节省空间的同时又能提率和性能。
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分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
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油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏