广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

扩展测试寿命测试 在通过对有统计学意义数量的泵进行加速寿命测试（长时间暴露于加速损坏的条件下），对泵的可靠性进行验证。该测试可确保泵无故障运行的平均时间超过五年。冲击测试 对一批泵在运行和非运行条件下进行一系列测试，证明泵的抗冲击性。每个泵受到 30–120 g 的加速度，相当于从82 厘米/32 英寸高跌落（处于非运行状态的泵）和从 15 厘米/6 英寸高跌落（处于运行状态的泵）。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行 6 次冲击测试。所测试的泵在 24 次跌落后无任何问题（不发生转子机械接触，泵运行状态不变）。在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远低于阈值。

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“黑科技” No.2  AFS 安捷伦悬浮轴承技术

一般的涡轮分子泵的设计，泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的，一旦泵体有振动或冲击，这些振动就会传递到轴承，并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动，对振动特别敏感，传递到轴承的振动会影响轴承的寿命，传递到转子的振动会造成转子发生位移，甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触，巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎，整泵也随之报废。

安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，保证佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，程度减少系统停机时间，确保长时间工作的稳定性。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦)，德国普发，欧瑞康莱宝， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是国产仪器厂商，如北京北仪创新真空技术有限责任公司，成都南光机器有限公司，中科院沈阳科学仪器等企业。但是，无论是在技术还是在市场发展上，国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。

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进出口法兰、冷却水安装

　　①、泵入口：对正、对称拧紧

　　②、泵出口：防止错位

　　③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

注意：

环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口压强：强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

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性能指标H2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸KF 16 NW前级耐压 — N212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量7 m³/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s气体通量 — N2、水冷250 sccm极限真空<1 x 10-10 mbar标准和认证EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

机械指令 2006/42/EC

电磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法兰类型DN 100DN 160贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量5.84 kg额定转速60 KRPM

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）设计并执行了下面的测试：

测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。