广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

了可以承受更大的气体流量，TwisTorr 305 Q 系列分子泵还拥有其他 TwissTorr 分子泵除高压缩比之外的所有特点：先进的连接选项（RS232、NFC、蓝牙等），可以通过 A-Plus 软件连接电脑或者通过 Vacuum Link APP 用手机进行无线操控AFS 悬浮轴承技术，抗震性好，噪音低免维护轴承，零运行成本无油运行，可确保真空系统洁净体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺制程

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水环式真空泵市场

　　水环式真空泵行业在国内和国际市场上发展形势都十分看好，我国这几年的水环式真空泵发展态势十分好，预测，到2020年，中国的水环式真空泵进口额将达到惊人的50亿美元，超过美国的49亿美元成为世界上水环式真空泵进口国。届时将排在水环式真空泵进口额3到6位的分别是：日本、印度、德国和法国。

　　近十年来，在少数水环式真空泵企业的带动下，多品种、密封性能、强度要求、调节功能、动作性能和流通性能，特别是密封性能，都有了长足的进步。但就整体来说，差距还很大，有很多工作要做。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

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气载、热气体、突变气载

　　a 引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效

　　b. 措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题

　　旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：

　　①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；

　　②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；

　　③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；

　　④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。

　　分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。

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为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3？极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计，并通过ISO标准进行测试：在操作人员位置的测试结果表明，IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB