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莱宝分子泵-广州潽拓光电科技-莱宝分子泵真空度极限

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潽拓——莱宝分子泵,分子泵

    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏







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Leybold莱宝分流分子泵Leybold TW 400-300-25 03 

Leybold TW 400-300-25 03 德国莱宝涡轮分子泵典型的应用:

氦检漏仪

液相色谱-质谱(LC-MS)

气相色谱/质谱(GC-MS)

电感耦合等离子体质谱法

德国莱宝 Oerlikon  Leybold TURBOVAC TW/SL系列复合分子泵/销售/维修/保养 :

TW70LS、 TW70H 、TW70、 TW220、TW150 、TW250S 、TW250 、TW290H 、TW290S 、TW501、TW300 、TW300H 、TW690、 TW700、 TW701、TW1600、TW2401 、TW220/150S、TW220/150/15S、TW300/400/25S、TW220/170S、SL80、 SL300 、SL700等







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       leybold TW300- Leybold TW300H德国莱宝真空分子泵转速为60000转/分钟 Leybold TW300- Leybold TW300H德国莱宝真空分子泵噪音为50分贝 Leybold TW300- Leybold TW300H德国莱宝真空分子泵启动时间小于4分钟 Leybold TW300- Leybold TW300H德国莱宝真空分子泵抽速为:240L/S