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进口莱宝分子泵-进口莱宝分子泵抽速-广州潽拓光电

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潽拓——进口莱宝分子泵,分子泵

维修 TURBOVAC450 i/iX 莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC450 




广州潽拓维修Oerlikon莱宝半磁浮分子泵,Leybold TURBOVAC 450i德国莱宝分子泵进气法兰口DN160ISO-K/DN160CF,出气法兰口DN25,抽速可达到430 L/s ,转速为60000rpm,自带控制器。广州潽拓提供Pfeiffer(普发), Leybold(莱宝),Alca(阿尔卡特) ,Edwards(爱德华),Varia(瓦里安),Seiko Seiki(精工),Shimadzu(岛津),Agilen(安捷伦),Osaka(大阪),Busch(普旭),ULVAC(爱发科),KYKY(中科科仪)等一线品牌的真空涡轮分子泵





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    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏







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莱宝 Leybold 400-300-25 03 2005分子泵


         LeyboldTW400/300/25S是特殊分流的涡轮泵,LeyboldTW400/300/25S三入口能

         同时抽取三个腔体的真空,分别抽速可达到400L/s,300L/s,15L/s,

         转速为48000rpm,对应的控制器为: Leybold  T400.

Leybold  TW400/300/25S德国莱宝涡轮分子泵典型的应用:

氦检漏仪

液相色谱-质谱(LC-MS)

气相色谱-质谱(GC-MS)

电感耦合等离子体质谱法