我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计专业维修保养/销售等业务。

广州潽拓光电——出售Agilent安捷伦Turbo-V903涡轮分子泵及专业维修

真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为，

1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装定位销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件，如气镇装置等。

AgilentTurbo-V903安捷伦涡轮分子泵进气法兰口ISO160F，出气法兰口KF25，抽速可达到680L/s

我公司提供－Pfeiffer， Leybold，Alcatel ，爱德华，Varia，Seiko Seik，Shimadzu，Agilen，Osak等一线品牌的真空涡轮分子泵，复合分子泵，磁悬浮分子泵，分子泵机组，分子泵电源，分子泵控制器，分子泵驱动器，氦气检漏仪，质谱仪的维修、保养、销售等服务。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——瓦里安分子泵，分子泵

瓦里安 Varian  Turbo-V 1000a涡轮分子泵


       广州潽拓光电维修Varian  TURBO Pump意大利瓦里安Turbo全系列涡轮分子泵——维修Varian 瓦里安/Agilent安捷伦全系列分子泵。

品牌：Varian                               型号：Turbo-V1000A订                  货号：Turbo-V1000A-01

货号Turbo-V1000A-01                  适用范围：100-220产                    品别名：瓦里安分子泵

重量：15kg                                 规格:方形                                     是否跨境货源:否

潽拓——瓦里安分子泵，分子泵

薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 瓦里安分子泵