潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——英国爱德华分子泵,分子泵
Edwards Diffstak 160/700P 小型油蒸汽扩散泵 Diffstak 160/700P
概述:
紧凑型水冷却Diffstak泵配有集成的冷却挡板,回流超低,漏气更少,并且安装所需的橡胶密封件也大大减少,同时还能提供**清洁的泵送系统。
多年依赖,通过数千个泵的安装,Edwards Diffstak 160(ISO 160进气口)设计已得到认可。
这种泵是无阀泵,具有铜制压缩垫片法兰。
潽拓——英国爱德华分子泵,分子泵
爱德华BOCEdwardsIPX100真空泵,二手分子泵维修
广州潽拓光电科技坚持如下的服务:
1.坚持使用原装进口巴顿陶瓷轴承保证。
2.坚持使用原装进口密封套件耗件保证
3.快修服务:7天*24小时,全年365天无休。
4.原装进口陶瓷珠轴承,分子泵配件销售业务
5.提供在线高达240000rpm高速动平衡服务
本公司秉持“开拓,创新,立足市场求发展;诚信,务实,用心服务为客户”的经营理念,竭诚为新老客户提供的产品、及无微不至的售后服务!热诚期待与新老客户携手合作,请随时拨打电话/联系咨询了解更多。