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Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵保养
Edwards 英国爱德华分子泵是目前*大的真空设备供应商,在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术占有地位。高真空分子泵维修,涡轮分子泵维修 进口涡轮分子泵维修,精修高真空分子泵, Varian 全系列分子泵维修,爱德华分子泵维修。
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Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至。
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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
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Edwards PVMK是一种快动式直线或直角杠操作阀。杠杠与自润滑的塑料凸轮活塞相连,通过PTFE轴承促动阀杠和阀板。阀板O型圈槽进行排气以避免气爆。阀设计为可在10-9mbar/8*10-10 Torr以上和2100 mabr/1575 Torr (30 psi)以下的压力范围内运行。
爱德华兹pv40mk真空停止阀