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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
潽拓——爱德华分子泵,分子泵
Edwards爱德华EXT200/200H GCMS质谱仪用设备泵维修二手分子泵
广州潽拓光电科技有限公司维修Edwards爱德华EXT200/200H GCMS质谱仪二手分子泵,可提供24小时快速维修保养技术服务,欢迎咨询联系。
广州潽拓从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,主要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),shimadzu,Edwards,Osaka等一线品牌分子泵,欢迎来电咨询。
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维修爱德华 Edwards stp-a3003k1 涡轮真空泵
潽拓光电——代理及维修的分子泵维修品牌有:
法国阿尔卡特:Alcatel Adixen
英国爱德华:BOC Edwards
日本精工,岛津,大阪及荏原 : Seiko Seiki Shimadzu Osaka Ebara
德国莱宝,普发: Oerlikon leybold Pfeiffer Balazer
意大利瓦里安: Varian
我们具备完整的测试设备,可以测试分子泵的启动时间,转速,噪音,极限真空值,渗漏率等相关数据,