广州潽拓——{精},分子泵
EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
潽拓——爱德华真空机械泵作用,分子泵
广州潽拓光电——Edwards EXT70H 24V爱德华分子泵维修 Edwards EXT70H
Edwards EXT70H 复合分子泵的电气接口及DN 16 的抽气接口
爱德华的Edwards EXT70H分子泵是专为超高真空设计的,其内部涡轮转子是专门为高真空
开发的,层数较普通的 EXT70要多很多
该图片就是 Edwards EXT 70H 24V Code:B722-26-991 对应口径ISO100
复合分子泵,是英国爱德华真空为分析仪器专门设计的分子泵, Edwards EXT70H 24V 复合
分子泵,是专为超高真空设计的
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维修爱德华 Edwards stp-a3003k1 涡轮真空泵
潽拓光电——代理及维修的分子泵维修品牌有:
法国阿尔卡特:Alcatel Adixen
英国爱德华:BOC Edwards
日本精工,岛津,大阪及荏原 : Seiko Seiki Shimadzu Osaka Ebara
德国莱宝,普发: Oerlikon leybold Pfeiffer Balazer
意大利瓦里安: Varian
我们具备完整的测试设备,可以测试分子泵的启动时间,转速,噪音,极限真空值,渗漏率等相关数据,