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广州潽拓光电(图)-爱德华分子泵厂家-惠州爱德华分子泵

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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。





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现货出售爱德华 Edwards nEXT 240分子泵及提供维修保养服务,欢迎来电咨询

概述——  nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。

基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。




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