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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——爱德华分子泵，分子泵

        广州潽拓专业维修分子泵，Edwards EPX TWIN 180L爱德华半导体真空干泵维修

技术参数：

品牌：Edwards                                                        型号：EPX TWIN 180L

入口法兰：ISO63                                                     出口法兰：NW25

水接头：3/8 in快速                                                  电源供给：200/208V,50/60Hz 三相

电机额度功率:3.0kw                                                  重量：55kg

应用：

EPX系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX'L'系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用

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  爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100


      分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

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