ULVAC真空泵的维修费用因具体情况而异。‌
‌维修费用范围‌：ULVAC真空泵的维修费用大致在人民币￥5000到￥90000之间，具体成*价以合同协议为准‌。
‌影响维修费用的因素‌：
‌配件价格‌：如果需要更换进口配件，维修费用会相应增加‌
‌维修内容‌：不同的维修内容（如更换密封垫、修复漏气问题等）会导致费用差异‌
‌泵的类型和功率‌：例如，干式螺杆真空泵的维修费用根据电机功率不同而有所变化，3kw-7.5kw的电机大约6600元，11kw-22kw的约8000元，22kw以上的约9500元‌
‌维修服务提供商‌：可以选择*业的维修公司进行维修，例如广州潽拓光电科技有限公司，提供ULVAC真空泵的维修服务‌，维修具体价格需要根据具体情况才能决定。