涡轮分子泵利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气。其结构主要由转子和定子组成，通过连续开启增加压缩效果的多个泵级，可以获得高达10^-13的压缩比‌。涡轮分子泵油污染问题的维修方法主要包括以下几种‌：

1.‌更换涡轮分子泵‌：如果涡轮分子泵已经使用了很长时间，或者油污染严重，可能需要更换新的涡轮分子泵。这通常是Z直接的解决方案‌。

2.清洗涡轮分子泵‌：如果涡轮分子泵仍在保修期内，或者维修成本相对较低，可以考虑进行清洗。清洗过程包括拆卸泵体，清除内部的油污和杂质，然后重新组装并测试‌。

3.检查和维护‌：为了防止涡轮分子泵再次出现油污染问题，建议定期检查和维护涡轮分子泵。这可能包括更换润滑油、清洁过滤器、检查密封性等‌