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真空泵的负压范围真空泵的负压范围可以从0.1帕到10^-11帕不等。具体来说：旋转叶片真空泵的负压一般可以达到0.1-0.01帕的级别。固体活塞真空泵的负压可以达到0.5帕左右。涡轮分子泵的负压可以达到10^-6-10^-11帕的级别，是目前真空度Z高的一种泵。
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