质谱检漏仪是一种利用质谱技术检测泄漏的仪器，根据带电粒子在电磁场中偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离和检测。‌ 质谱检漏仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪，按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪，按工作原理分为静态仪器和动态仪器。

质谱检漏仪的保养注意事项

    1、如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间

    2、拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。

    3、适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。

    4、检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）

    5、禁止*何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。

6、使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。