真空泵可以用*业清洗剂，气相清洗、机械清洗、冷却器清洗等方法进行清洗。

一、*业清洗剂

真空泵清洗的比较常见的方法是使用*业清洗剂，这种清洗剂通常具有强力的腐蚀性，并且需要按照说明书进行正确的使用，以避免对设备造成损害。其中比较常用的清洗剂有酸性清洗剂和碱性清洗剂。

二、气相清洗

气相清洗是一种比较方便和快速的清洗方法，它主要是通过在真空泵中通入一种气体，将泵内的污物进行清洗。常用的气体有氮气和氢气等。

三、机械清洗

机械清洗主要是通过机械手段对真空泵进行清洗，可以使用一些机械工具对泵体和零配件进行擦拭和磨洗，清除其中的污物。机械清洗时需要注意不要损坏泵体和零配件。

四、冷却器清洗

真空泵的冷却器也需要进行清洗，因为如果冷却器被污染，容易导致泵体温度过高。冷却器的清洗方法可以采用酸洗或碱洗，也可以使用超声波清洗。

总之，如何清洗真空泵内部需要根据泵型和污染程度等因素来选择合适的清洗方式，并注意相关安全和环保问题。建议用户在清洗前仔细阅读相关设备清洗说明书或向设备生产厂家进行咨询。