真空泵进行能量转换时，总是有一小部分损耗转变成热量，它必须通过电机外壳和周围介质不断将热量散发出去，这个散发热量的过程，称为冷却。而且真空泵工作时会产生一定的热量，这些热量如果得不到及时散热的话，时间一长就会对真空泵内部零件造成影响，甚至损坏。这就会影响到真空泵的正常工作，甚至会损坏真空泵。
　真空泵的冷却计划有许多，依据机体不同部位的发热量确定适宜的冷却计划。例如真空泵工作压力高，温度上升快，温度高，一般真空泵需求循环水降温，维护风机不受损坏。

真空泵的散热冷却的方法有如下这些：
　　一、转子的油膜冷却：

　　这种冷却方法是在真空泵入口处连接一个输油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。
　
  二、空气冷却：

　　即是由间级或双级泵吸入的空气经压缩后，通过综合吸收及有相位差的组合消音器传送。

　三、转子的内部冷却：

　　为了使真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在真空机组轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。

　四、冷却：

　　真空泵由于输送和压缩气体而产生热量，这些热量必须从转子传至壳体而散发。

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