质谱仪分子泵的保养对于确保仪器稳定运行和延长设备寿命至关重要。以下是一些关键的保养要点：

‌定期检查连接部件‌：检查分子泵的电源、气管、油池等连接处的紧固度，防止漏气或漏油。‌

‌润滑系统维护‌：定期检查润滑油量，按规定的周期更换，避免因油品老化或污染导致性能下降。更换时需彻*排空旧油，并按设备要求添加新油至指定油位。‌

‌部件磨损检查‌：定期巡检密封圈、轴承、电机等部件，及时发现磨损、老化或松动问题并进行更换。‌

‌清洁与散热‌：保持分子泵外壳清洁，避免灰尘积累影响散热；同时定期清理散热片，确保通风良好。‌

‌日常监控与操作‌：运行时关注泵体温度、噪声和振动等指标，异常时及时停机检查。避免非正常断电，并定期进行震气操作（如每周一次，每次15分钟）以维持泵油状态。‌

如果分子泵出现故障，应先关闭进气口阀门，停止泵运转并断电，再隔离系统进行检修。‌
对于内部污染，需由*业人员进行清洗以恢复真空性能。‌