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前级泵的作用是什么

2025.12.12

  前级泵是真空系统中维持主泵前级压强低于临界值的辅助动力设备,常与罗茨泵、分子泵等主泵配套使用,适用于工业高真空处理、半导体制造等领域。其核心功能为协助主泵启动、降低排气压力,确保主泵稳定运行,并通过适配水环式、旋片式或滑阀式等类型应对可凝性蒸气、腐蚀性气体等特殊工况
  "前级泵"这个名词在真空机组中见的比较多,主要是帮助主泵罗茨真空泵启动,罗茨真空泵一般情况下不能在常压下启动,如果要启动电机功率相当大,而且对泵的运行有伤害。而且通过配用不同的前级泵可以运用到不同的环境。如配用水环式真空泵,就可以抽除含有大量可凝性蒸气和带有一定腐蚀性的气体(通过水稀释腐蚀性气体浓度)。常见的前级泵有:水环式真空泵、旋片式真空泵,立式无油真空泵、往复式真空泵、H、2H滑阀式真空泵等。通过选用不同的前级泵可以得到不同的真空度和抽气速率。