根据现有资料,分子泵中的涡轮分子泵主要有以下几种分类方式和类型:
主要分类
涡轮分子泵通常根据其叶片结构分为两大类:
敞开叶片型:这种结构的转速较高,因此具有较大的抽气速率。
重叠叶片型:与敞开叶片型相反,其转速相对较低,但压缩比较大。
其他相关类型
除了上述基于叶片结构的分类,资料中还提到了其他一些具有特定功能或结构的涡轮分子泵变种:
低温型分子泵:这种泵经过特殊设计,能够更有效地抽取水分子,适用于需要处理大量水汽的场合。
陶瓷分子泵:采用陶瓷材料制造,使其能够在强磁场、强腐蚀等特殊环境下工作。
磁悬浮分子泵:采用磁悬浮技术实现转子的无接触支撑。这种设计具有多项优势,如无需润滑油(实现无油真空)、寿命长、运行转速高、振动和噪声低,并且可以任意角度安装。
结构形式
从整体结构上看,涡轮分子泵主要有立式和卧式两种安装形式。