分子泵轴承是分子泵的核心部件,其作用可归纳为以下四点:
支撑转子高速旋转
轴承通过磁悬浮技术或空气轴承实现转子与定子无接触悬浮,确保转子在*高转速下稳定运转(可达数万转/分钟),满足分子泵对真空度和抽气效率的严格要求。
保障设备长期稳定运行
无机械接触设计消除了传统轴承的磨损问题,显著延长使用寿命。同时,磁悬浮轴承因无负载运行,进一步降低了能耗和振动,减少了设备故障率。
提升真空环境质量
磁悬浮轴承避免了油润滑可能导致的油蒸汽返流污染,确保真空室洁净度,特别适用于集成电路制造等对真空度要求苛刻的场景。
满足*端工况需求
转子需承受高温、高压及超临界运行条件,磁悬浮轴承通过电磁力提供稳定支撑,可突破传统轴承的转速和可靠性限制。
综上,分子泵轴承通过创新技术实现了高转速、长寿命、低污染的核心目标,是现代真空设备的关键支撑部件。