涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中
一：结构组成
   涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
二：优缺点
  涡轮分子泵优点有：(1)清洁，无油蒸汽返流；(2)使用方便；(3)气体输送能力强；(4)适于超高真空应用；(5)高压力下性能良好；6)循环的时间短；(7)正常使用时间长
 涡轮分子泵缺点：(1)设备费用高；(2)对颗粒物或沉积物敏感；(3)噪音与振动；(4)破碎问题；(5)暴露大气易引起事故