真空分子泵常见故障及处理方法如下：

1、无法启动
‌电源检查‌：确认电压稳定且三相供电正常，检查控制系统信号准确性。 ‌
‌机械检查‌：检查泵体是否生锈或异物堵塞，清理滤网和滑动件。 ‌
振动过大
‌安装调整‌：确保支架稳固，转子平衡性检查并调整。 ‌
‌部件维护‌：检查叶轮轴偏心或密封件老化，及时更换或修复。 ‌

2、噪音异常
‌轴承检查‌：若轴承磨损需更换，并检查电机运行状态。 ‌
‌异物排查‌：清理泵体内部杂物，避免异物混入。 ‌

3、真空度下降
‌密封检查‌：更换破损密封圈，确保排气口畅通。 ‌
‌油液管理‌：定期更换泵油，避免杂质混入。 ‌

4、机械密封泄漏
‌密封件更换‌：更换老化或磨损的密封件，确保安装正确。 ‌
‌压力控制‌：调整水压力或油量，避免过大压力导致泄漏。 ‌

5、温度异常
‌冷却系统‌：检查水流和风扇是否正常运转。 ‌
‌散热维护‌：清理排气口积尘，确保散热通道畅通。