分子泵机组具有高真空和低气体污染的特点，可以将气体分子排除并保持高真空环境，确保实验室空气的纯净度，避免气体污染对实验结果的干扰。分子泵机组主要用于高真空环境下的气体抽排，常见于以下领域：
1.半导体与光伏
  分子泵常与旋片泵、涡旋泵等组成机组，用于半导体制造中的高纯度真空环境，如芯片封装、光伏设备清洁等。 ‌
2.精密制造
  在真空热处理、真空冷冻、真空浸渍等工艺中，分子泵机组能提供稳定的真空环境，确保产品质量和工艺效率。 ‌
3.化工与制药
  用于蒸馏、萃取、干燥等工艺的真空操作，以及药物制剂、灭菌等医药流程，可降低油蒸汽污染风险。 ‌
4.电子与科研
  在真空冷阱、真空光刻机等设备中，分子泵机组能创造高纯度真空环境，满足半导体材料制备等精密需求。
  此外，分子泵在航空航天和船舶制造等领域也有着重要的应用。