分子泵组是分子泵与前级泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6～大气) 工作。

分子泵组主要由以下核心部件组成：

一、泵体结构
  包含动叶轮、静叶轮交替排列的涡轮结构，转子外缘线速度可达150-400米/秒，通过多级叶轮串联实现气体定向流动。 ‌

二、驱动系统
  通常由电机提供动力，通过变频电源驱动，转速范围为10000-50000转/分钟，确保**抽气性能。 ‌

三、控制系统
  实时监测运行状态并调整参数，保障涡轮稳定工作，适应不同真空需求。 ‌

四、前级泵
  用于预抽气体至分子流状态，避免直接对大气排气造成损伤。 ‌
  特殊类型如复合分子泵还会结合牵引式分子泵结构，提升高压环境下的稳定性