复合分子泵是由涡轮式分子泵和牵引式分子泵串联组合而成的复合型真空泵。 ‌
结构特点
它结合了两种分子泵的优势：
‌涡轮式部分‌：通过多级动、定叶片配合实现气体压缩，适用于分子流态抽气，*限真空度可达10⁻⁸ Pa。具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。 ‌
‌牵引式部分‌：利用高速转子直接碰撞气体分子，启动更快，适合抽取重气体或蒸汽。 ‌
应用范围
主要应用于10⁻⁶ 至1 Pa压力范围的真空系统，如质谱分析 、 半导体制造 、 光学镀膜 等领域