氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、质量分析器、离子检测器等组成。其核心部件包括离子源、质量分析器和离子检测器。

氦质谱检漏仪广泛应用于工业生产、科研实验、航空航天等领域。具体应用包括：

‌电厂‌：用于冷凝器、热交换器、蒸汽发生器、管道等设备的密封性检测。
‌科研‌：实验装置、微电子、表面分析系统、空间模拟系统等设备的密封性检测。
‌工业‌：超高真空工程、压力容器、镀膜系统、真空炉等设备的密封性检测。
‌汽车制冷‌：蒸发器、管道、空调等设备的密封性检测。
‌航空航天‌：航天器、管道、空间模拟器等设备的密封性检测。
‌半导体及电子‌：气路、气路传输设备、电子元器件、封装、工艺设备等设备的密封性检测‌