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分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。由于国内磁悬浮轴承技术起步较晚，将磁轴承技术应用到实际工业产品中仍存在一系列难题。 正是意识到这一问题后，公司以此为科技攻关点，经过多年的不懈努力，磁悬浮轴承技术研究取得突破。特别是针对复合分子泵的工作原理，研发出了适合复合分子泵用的磁悬浮高速电机，很后将两者结合起来，成功研发出国内生產的磁悬浮复合分子泵，并探索实现了产业化。

9、对颗粒物或沉积物敏感； 10、噪音与振动； 11、破碎问题； 12、暴露大气易引起事故； 综上所述，涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

爱发科分子泵, 磁悬浮分子泵应用范围***。公司研发总经理介绍，在半导体生产线、真空镀膜生产线、汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。 由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点，一旦实现产业化，将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。

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分子泵使用中有哪些注意事项？2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得超高真空？4.国际热核聚变试验堆（ITER）的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试，仅选很优方案，揭秘新型分子泵测试方法；真空聚焦真空行业新媒体平台：涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。

质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术,用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境,一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目,工程的主体建筑是三大:一台150MeV（1.5亿电子伏特）的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150MeV提升到3.5GeV（35亿电子伏特）的量增强器，以及一台周长432米的3.5GeV电子储存环，

经过技术推荐，成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵，涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.

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脉冲激光沉积系统PLD客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统

1.系统功能：主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。

2.涡轮分子泵真空度要求:真空度

3.样品尺寸:6英寸

4.基片旋转,加热温度：750℃

5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式

真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400

接口:DN100CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040

口径:G1/4”

极限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>